靶材的制作方法都有哪些?
更新時(shí)間 2023-07-13 閱讀 643
靶材是電子信息行業(yè)中常用的一種材料。盡管它有著廣泛的用途,但公眾對(duì)這種材料的理解并不深刻。很多人都很好奇靶材的制造方法是什么?它是如何分類的?下面小編將介紹鈦靶材的制造方法和分類使用。
靶材的制造方法有幾下幾種方法
1、鑄造法
鑄造方法是將一定比例的合金材料熔化,然后將熔化的合金溶液倒入模具中,形成鑄錠。加工后形成目標(biāo)材料。鑄造方法通常需要在真空中熔化和鑄造。常用的鑄造方法有真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉。其優(yōu)點(diǎn)是所生產(chǎn)的靶材雜質(zhì)含量低,密度高,可大規(guī)模生產(chǎn);缺點(diǎn)是當(dāng)熔點(diǎn)和密度有顯著差異的兩種或兩種以上金屬熔化時(shí),使用常規(guī)的熔化方法很難產(chǎn)生成分均勻的合金靶材。
2、粉末冶金法
粉末冶金是將合金材料按一定的組成比例熔化,然后將熔化的合金溶液鑄造成鑄錠的工藝。將鋼錠損壞,將損壞的粉末靜態(tài)成型,然后在高溫下燒結(jié),形成目標(biāo)材料。用這種方法制造的靶材的優(yōu)點(diǎn)是其成分均勻;缺陷密度低,雜質(zhì)含量高。常見的粉末冶金行業(yè)有冷壓、真空熱壓和熱等靜壓。